DLA FARMACJI, DLA NAUKI,
DLA PRZEMYSŁU, DLA MOTORYZACJI.
Gaz (np. heksametylodisiloksan (HMDSO), heksametylodisilazan (HMDSN), eter dimetylowy tetraetylenoglikolu, C2F6) jest wprowadzany do komory plazmowej, gdzie w wyniku polimeryzacji plazmy, wydzielane są na powierzchni materiału obrabianego warstwy.
Zastosowanie: